十年磨一剑！中大研发出超强半导体

2022年3月，中山大学。近日，以“科技自立自强 双创驱动发展”为主题的2022“科创中国”年度会议召开。会上，中国科协发布了2021年“科创中国”系列榜单。其中，“先导技术榜”面向生物医药、资源环境、电子信息、装备制造、先进材料、现代农林等六大领域，遴选出了100项具有广阔应用场景、高经济和社会效益的先导技术。

中山大学王钢教授领导的研发团队十多年自主研发的“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备”既是广东省高校唯一入选的项目，也是广州地区唯一入选的项目。王钢团队的这项技术将在中国乃至全球新兴超宽禁带功率半导体材料领域形成产业化突破口，极大地推动中国氧化镓基功率电子器件的发展和产业化进程。

本次研究成果登上国家级榜单，背后是王钢团队十余年磨一剑的坚韧。“每次推开一道门，都需要经过不断地探索，反复地试错，才能找到下一道门”王钢对记者感叹道。

中山大学王钢教授。

中山大学王钢教授领导的研发团队十多年自主研发的“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备”。

研发人员在操作装备。

研发人员在操作装备。

中山大学王钢教授领导的研发团队十多年自主研发的“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备”。

研发人员在调整装备。

“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备”。

中山大学王钢教授介绍装备的技术特点。

“大尺寸氧化镓单晶薄膜异质外延生长技术及核心装备”运作的示意图。

文/广州日报·新花城记者：龙锟

图/广州日报·新花城记者：苏俊杰 实习生：林潇雅

视频/广州日报·新花城记者：苏俊杰、龙锟 实习生：林潇雅

广州日报·新花城编辑：陈铭曦

【来源：广州日报客户端】